Тел.: +7 (4852) 32-05-24, 32-09-24
E-mail: [email protected]
Ярославль, пр. Ленина, 15
Навигация:ГлавнаяАналитическое оборудованиеАнализ поверхностиСпектральный эллипсометр Auto SE

Спектральный эллипсометр Auto SE

Спектральный эллипсометр Auto SE

Артикул: HB-67

Цена: предоставляется по запросу

Задать вопрос по оборудованию

Эллипсометр Auto SE объединяет максимальную эффективность анализа тонких пленок и простоту работы на приборе. Позволяет проводить исследования в полностью автоматическом режиме, путем нажатия одной кнопки. Измерение образца занимает всего несколько секунд, и результирующий отчет полностью описывает тонкопленочную структуру – толщины слоев, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородность слоев.

Прибор даже в стандартной конфигурации оснащен богатым пакетом опций: XYZ столик, наблюдение образца в видеокамеру в реальном времени, автоматический выбор размера аналитического пятна, диагностические датчики для автоматического контроля неисправностей. Широкий набор аксессуаров доступен для большого круга приложений.


Основные преимущества:

  • Легкий и удобный анализ тонких пленок;
  • Богатая базовая конфигурация;
  • Система наблюдения образца;
  • Аналитический микропучок минимально до 25x60 мкм;
  • Широкий выбор аксессуаров.                                                                                                                                                                                                                                                  
    Параметры Значение

    Спектральный диапазон, нм

    440 – 1000

    Размеры аналитического пятна: автоматический выбор, мкм

    500x500; 250x500; 250x250; 70x250;
    100x100; 50x60; 25x60

    Система регистрации

    ПЗС

    Разрешение, нм

    2

    Столик образца

    вакуумный прижим

    Подстройка по высоте, мм

    40

    Визуализация образца

    ПЗС камера

    Поле наблюдения, мм

    1,33 х 1

    Разрешение, мкм

    10

    Гониометр, град

    фиксированный при 70
    по заказу на 66 или 61,5

    Время измерения, сек

    менее 2
    типичное - 5

    Точность

    NIST 100 нм d ± 4 ангстрема, n(632,8 нм) ± 0,002

    Воспроизводимость

    NIST 15 нм ± 0,2 ангстрема  

Задать вопрос

Нажимая кнопку «Отправить», вы даете согласие на обработку своих персональных данных