Тел.: +7 (4852) 32-05-24, 32-09-24
E-mail: [email protected]
Ярославль, пр. Ленина, 15
Навигация:ГлавнаяАналитическое оборудованиеАнализ поверхностиСпектральный эллипсометр Smart SE

Спектральный эллипсометр Smart SE

Спектральный эллипсометр Smart SE

Артикул: HB-70

Цена: предоставляется по запросу

Задать вопрос по оборудованию

Многофункциональный спектральный эллипсометр Smart SE для быстрого и точного анализа тонких пленок, позволяющий определять толщины пленок от нескольких Ангстрем до 20 микрон, оптические характеристики (n,k), шероховатость, градиентные и анизотропные слои и многое другое. Спектральный диапазон от 450 до 1000 нм регистрируется за несколько секунд, и эллипсометрические данные анализируются с помощью ПО DeltaPsi2. Программное обеспечение включает два уровня: рутинный анализ с помощью предустановленных процедур и продвинутый анализ с большим набором методов математического моделирования.

Smart SE – экономичный прибор, обладающий при этом широким набором опций, включенных в базовую конфигурацию: система наблюдения образца, 7 автоматически устанавливаемых размеров аналитического микропучка, анализ всех 16-ти элементов матрицы.

Гибкий дизайн Smart SE позволяет установить на него автоматический столик образца и гониометр, а также использовать эллипсометр в режиме in-situ, например, на напылительной камере. Данный элипсометр покрывает широкий спектр приложений для микроэлектроники, фотовольтаики, производства дисплеев, оптических покрытий, обработки поверхности и анализа органических смесей.

Параметры Значение

Спектральный диапазон, нм

450 – 1000

Спектральное разрешение, нм

лучше, чем 3

Источник света

комбинированный
(галогенная лампа и синий диод)

Время измерения, сек

< 1 до 10

Размеры аналитического пятна, мкм

75 х 150; 100 х 250; 100 х 500;
150 х 150; 250 х 250; 250 х 500; 500 х 500

Угол падения, град

от 45 до 90 с шагом 5

Размер образца, мм

до 200

Подстройка положения образца

ручная, 17мм по высоте и наклону

Качество измерений:

Точность (напрямую через воздух)

Ψ=450±0,050; Δ=00±0,20

Точность (по толщине на оксиде 1000 ангстрем)

0,04%

Воспроизводимость (по толщине на оксиде 1000 ангстрем)

±0,02%

Размеры (ДхШхВ), см

100 х 46 х 23

Задать вопрос

Нажимая кнопку «Отправить», вы даете согласие на обработку своих персональных данных