Тел.: +7 (4852) 32-05-24, 32-09-24
E-mail: [email protected]newstyle-y.ru
Ярославль, пр. Ленина, 15
Навигация:ГлавнаяАналитическое оборудованиеАнализ поверхностиСпектральный эллипсометр UVISEL

Спектральный эллипсометр UVISEL

Спектральный эллипсометр UVISEL

Артикул: HB-69

Цена: предоставляется по запросу

Задать вопрос по оборудованию

Линейка спектральных эллипсометров UVISEL обеспечивает лучшую комбинацию модульности и качества измерений для продвинутого анализа тонких пленок, поверхностей и границ раздела. Применяемая в приборе технология фазовой модуляции позволяет работать в спектральном диапазоне от 145 до 2100 нм и получать результаты с высокой точностью, высоким разрешением и отличным соотношением сигнал/шум. Технология фазовой модуляции отслеживает поляризационные изменения с высокой частотой (50 кГц) и без каких-либо механических перемещений.

Преимуществами такого метода являются высокоточные измерения для всех значений Ψ и Δ, отличное соотношение сигнал/шум от ВУФ до БИК, быстрая регистрация данных со скоростью до 50 мс на точку (идеально подходит для проведения кинетических измерений и in-situ анализа).


Эллипсометр UVISEL обладает более высокой чувствительностью и воспроизводимостью, чем стандартный эллипсометр, использующий вращающиеся элементы. Прибор позволяет исследовать сверхтонкие пленки и границы раздела, что не под силу другим эллипсометрам, а также анализировать толстые пленки до 30 мкм. Измерение и анализ прозрачных образцов просты, точны и не требуют нанесения царапин на нижнюю поверхность образца. Многофункциональное конфигурирование позволяет выбирать из 6 различных спектральных диапазонов: видимый, УФ, ИК, ВУФ и два расширенных диапазона: от 190 до 2100 нм и от 145 до 2100 нм. Автоматизированные модули и аксессуары дают возможность подобрать конфигурацию под конкретные задачи пользователя. Модульный дизайн прибора делает возможным его использование как в настольной конфигурации, так и в in-situ режиме, например, на напылительной камере.

Преимущества прибора:
  • Высокая точность и чувствительность;
  • Модульный дизайн;
  • Широкий спектральный диапазон: 145-2100 нм;
  • Полностью интегрированное программное обеспечение для измерений, моделирования и автоматизации процедур.

Получаемая информация: 
→ толщины тонких пленок от 1Å до 30 мкм;
→ шероховатость поверхности и границы раздела;
→ оптические константы (n,k) для изотропных, анизотропных и градиентных образцов;
→ расчетные параметры образца, такие как: коэффициент абсорбции α, ширина запрещенной зоны Eg;
→ свойства материала: композиция компонентов сплава, пористость, степень кристалличности, морфология и др.;
→ матрица Мюллера;
→ деполяризация.

Работа UVISEL контролируется программным обеспечением DeltaPsi2, общим для всех эллипсометров HORIBA. DeltaPsi2 позволяет осуществлять полный анализ свойств тонких пленок для рутинного анализа и научных исследований.

Дополнительные принадлежности: температурная ячейка, жидкостная ячейка, электрохимическая ячейка, рефлектометрический модуль для анализа отражения при 0°.

Параметры Значение

Спектральный диапазон, нм 
- UVISEL VUV 
- UVISEL FUV 
- UVISEL VIS 
- UVISEL ER 
- UVISEL NIR


145 – 880 
190 – 880 
210 – 880 
190 – 2100 
245 – 2100

Система детектирования

монохроматор высокого разрешения, стыкованный с чувствительными детекторами или 32/64 канальный мультиволновой модуль для быстрой регистрации

Неавтоматизированная конфигурация:

Размер аналитического пятна, мм

0,08 – 0,1 – 1 (диафрагма)
50µм по требованию

Столик для образца, мм

150
ручная подстройка по высоте (40 мм) и наклону

Гониометр: ручное изменение угла, град

от 55 до 90 с шагом 5

Автоматизированная конфигурация:

Ручной или автоматический выбор размера аналитического пятна, мм

0,08 – 0,1 – 1
0,08 – 0,12 – 0,25 – 1,2 (диафрагма)

Автоматический столик образца, мм

200 х 200

XY столик, мм

300 х 300

Ручная подстройка высоты (4 мм) и наклона образца

наличие

XYZ столик образца

наличие

Поворотный столик

наличие

Автоматический гониометр: автоматический выбор угла, град

от 40 до 90 с шагом 0,01

Интегрированный гониометр:

Ручное изменение угла, град

от 35 до 90 с шагом 5

Держатель образца:
- диаметр, мм
- подстройка по высоте, мм


150
20

Опция

автоколлиматор для подстройки наклона образца

In-situ конфигурация:

Механическая адаптация

CF35 или KF40 переходники

Простое переключение между in-situ и ex-situ конфигурациями

наличие

Опции:

Спектральный рефлектометр, нм

450 – 850
размер пятна 10µм

Система наблюдения образца

ПЗС камера

Качество измерений:

Точность, град

Ψ= 45±0,02 и Δ=0±0,02 измерения в воздухе напрямую в диапазоне 1,5 – 5 эВ

Воспроизводимость

NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 нм):
d ± 0,1 % – n(632,8nm) ± 0,0001

Размеры (ДхШхВ), см

25 х 35 х 21

Задать вопрос

Нажимая кнопку «Отправить», вы даете согласие на обработку своих персональных данных