Навигация:ГлавнаяДля ВУЗов, техникумов и ПУОборудование PHYWE (Германия)ФизикаФизика рентгеновских излученийРентгеновская флуоресцентная спектроскопия - определение толщины слоя

Рентгеновская флуоресцентная спектроскопия - определение толщины слоя

Рентгеновская флуоресцентная спектроскопия - определение толщины слоя

Артикул: P2545205

Цена: предоставляется по запросу

Задать вопрос по оборудованию

Принцип

Рентгенофлуоресцентный анализ (XRF) подходит для бесконтактного и неразрушающего измерения толщины тонких слоев, а также для определения их химического состава. Для этого типа измерений источник рентгеновского излучения и детектор располагаются на одной стороне образца. Когда слой на подложке подвергается воздействию рентгеновских лучей, излучение проникает в слой, если он достаточно тонкий, в определенной степени, в зависимости от толщины, и в свою очередь вызывает характерное флуоресцентное излучение в материале подложки. На пути к детектору это флуоресцентное излучение будет ослаблено поглощением в слое. Толщина слоя может быть определена на основе интенсивности ослабления флуоресцентного излучения материала подложки.

Задание

  1. Откалибруйте полупроводниковый детектор энергии.
  2. Измерьте спектр флуоресценции железной подложки с различным количеством n кусочков алюминиевой фольги одинаковой толщины, помещенных на подложку (в том числе n = 0). Определите интенсивность линии флуоресценции Fe-Kα.
  3. Постройте график интенсивности линии флуоресценции Fe-Kα в зависимости от числа кусочков алюминиевой фольги, помещенных на подложку, линейным и полулогарифмическим способом.
  4. Определите интенсивность линии флуоресценции Fe-Kα для различного количества кусочков алюминиевой фольги, закрепленных перед выходом из трубки детектора энергии.
  5. Рассчитайте толщину алюминиевой фольги.
  6. Выполните задания 2-4 для медной фольги на молибденовой или цинковой подложке.

Основные термины

  • Бремсстралунг
  • характеристическое рентгеновское излучение
  • флуоресцентный выход
  • эффект Оже
  • когерентное и некогерентное рассеяние фотонов
  • закон поглощения
  • массовый коэффициент ослабления
  • толщина насыщения
  • матричные эффекты
  • полупроводник
  • детекторы энергии
  • многоканальные анализаторы

Задать вопрос