Сканирующий зондовый микроскоп полностью автоматизированный прибор, оптимизированный для работы с инвертированной оптикой, с возможностью работы с образцами большого размера, в том числе жидкостными и газовыми ячейками, с оптическим доступом к зонду и образцу по верхнему, нижнему и боковому оптическим каналам.
Измерительные методики Контактная и полуконтактная АСМ на воздухе и в жидкости, бесконтактная АСМ, метод фазового контраста, метод латеральных сил, динамическая силовая микроскопия, МСМ, методика зонда Кельвина, сканирующая емкостная микроскопия, электросиловая микроскопия, микроскопия пьезоотклика, силовая спектроскопия, нанолитография и наноманипуляции, СТМ, микроскопия токов растекания, измерение вольт-амперных характеристик.
Автоматизация Автоматическая настройка регистрирующей системы CombiScope освобождает пользователя от рутинных операций, а также обеспечивает повторяемость настройки вне зависимости от его опыта. Моторизация позиционирования образца в горизонтальной плоскости позволяет пользователю легко находить область, в которой необходимо производить сканирование. В автоматическом режиме пользователю необходимо лишь указать основные параметры зонда и поле сканирования для того, чтобы программа произвела полную настройку системы, подвела зонд к поверхности образца и начала сканирование.
Оптический доступ к зонду и образцу Наличие оптического доступа к образцу сверху, сбоку и снизу позволяет работать с минимальной фокальной областью, воздействовать на образец лазером с заданной поляризацией и собирать рассеянный свет с поверхности образца в максимальном телесном угле, что особенно важно для проведения ГКР/TERS экспериментов.
Регистрирующая система с ИК лазером Позволяет измерять широкий диапазон образцов с высоким разрешением, включая образцы, чувствительные к видимому свету. Пользователь может проводить измерения флуоресценции или комбинационного рассеяния одновременно с АСМ сканированием без перекрестных помех.
Цифровой контроллер Электроника микроскопа дает возможность одновременно регистрировать сигналы на разных частотах. Возможность подачи модуляции на зонд и X, Y и Z сканеры. Наличие выхода напряжения смещения. Цифровые входы/выходы и аналоговые входы для интеграции с внешними устройствами.
Высокостабильные оптические измерения и TERS-режим Благодаря неподвижности точки подвеса зонда во время сканирования удается добиться устойчивого совмещения кончика зонда и фокальной области возбуждающего лазера, что важно для экспериментов с резонансным усилением оптического сигнала под зондом (TERS). Для более точного и стабильного совмещения дополнительно может быть установлен сканер объектива, работающий в любом их трех оптических каналов, а также использовать специально разработанные аппаратные и программные методики для синхронизации комбинированных СЗМ/Раман измерений и максимизации усиления.
Совместимость с оптическими микроскопами Устанавливается на инвертированные микроскопы исследовательского класса Nikon Ti-S/U/E, Olympus IX-71/81. Совместим с методиками ДИК, фазового контраста, флуоресцентными измерениями с использованием штатных оптических конденсоров.
Гибкость программного обеспечения Благодаря встроенным в программное обеспечение языку программирования Lua и макроязыку для программирования DSP пользователь имеет возможность адаптировать прибор под свои специфические задачи.
Параметры |
Значения |
Максимальный размер образца (ДхШхВ), мм
|
50 х 50 х 5
|
Размер предметных стекол (ДхШ), мм
|
75 х 25
|
Контроллер:
|
|
Количество синхронных усилителей
|
2 |
Цифровой генератор – количество, шт. – разрядность, бит – диапазон, МГц – разрешение, Гц
|
6 32 5 0,01 |
Частота ЦСП, МГц
|
<300 |
Интерфейс
|
USB 2.0 |
АЦП – частота, кГц – разрядность, бит – количество каналов
|
500 18 20 |
Высоковольтные усилители – напряжение, В – шум, ppm
|
-5…+120 не более 0,4 |
Напряжение смещения (AC, DC), В
|
-10…+10 |
Напряжение смещения в режиме электрической нанолитографии, В
|
-50…+50 |
Частотный диапазон напряжения, МГц
|
0 ÷ 2 |
Сканер:
|
|
Диапазон сканирования, мкм
|
100 x 100 x 20 (±10%) опционально 200 х 200 х 20 (±10%) |
Тип сканирования
|
образцом |
Нелинейность по осям XY, %
|
не более 0,05 |
Нелинейность по оси Z, %
|
не более 0,05 |
Шумы (СКО), нм – по XY в полосе 200 Гц с включенными датчиками, В – по XY в полосе 100 Гц с выключенными датчиками – шумы датчика Z в полосе 1000 Гц
|
0,1 0,02 < 0,04 |
Цифровая обратная связь
|
по осям X, Y и Z |
Резонансная частота по XY, без нагрузки, кГц
|
7 |
АСМ головка:
|
|
Длина волны лазера, нм
|
1300 |
Шум регистрирующей системы, нм – головка HE001 – головка HE002
|
< 0,03 < 0,1 |
Оптическая система (видеомикроскоп с XY позиционером):
|
|
Головка HE001 – положение объектива сверху – оптическое разрешение, мкм – поле зрения, мкм – положение объектива под углом
|
10х, NA = 0,28 1,0 от 900 до 140 50х, NA = 0,55 |
Головка HE002 – положение объектива сверху – оптическое разрешение, мкм – поле зрения, мкм – положение объектива под углом
|
10х, NA = 0,7 0,4 от 100 до 50 50х, NA = 0,55 |
Выбор нижнего объектива
|
сухой или иммерсионный, до NA = 1,40 |
|